株式会社フジプロは、クリーンルームをはじめとして様々な環境測定に取り組んでいます。

フィルタリーク測定

　クリーンルーム内に清浄空気を供給する吹き出し口となる天井や壁面のフィルタにリーク(漏れ）があると、どんなに優秀な設計のクリーンルームであろうと、その性能を発揮することはできません。フィルタ面に重大なリークがなくても、設置された状態のフィルタでは、クリーンルーム施工時やフィルタ交換時の処理の仕方により、フレームとの取り付け部に小さな隙間を生じたり、取り扱い時にフィルタに小さな破損を生じたりすることも考えられます。このため特に新設のクリーンルームでは、設置した状態での測定も重要な評価項目となります。

　測定にはパーティクルカウンターを用い、吸引チューブをフィルタ面から2.5～5ｃｍの距離に保持しながら、フィルタ設置全面（フィルタ面、ガスケット、フィルタフレームおよびシール部分を含む)に沿って走査し、吸引した粒子をカウントします｡この吸引流量は1cf（28.3ℓ）/minとし、走査速度は55mm/secで行います。また、並行する走査線の感覚は検査される面積が多少オーバーラップする程度として、検査漏れがないように注意します｡走査中に1つでも粒子をカウントしたら、その箇所についてはチューブにプローブを取り付け、静止した状態で念入りに再度吸引を行います。この時やはりカウントが確認されるようであれば、リークありと判定し、その部分に関しては、フィルタの交換や修理を提案します。

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